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Wafer Loader FOUP Type - Nutrim 新群科技

可客製符合各式Cassette (FOUP/ FOSBE/OPEN CASSETTE )。 cassette 定位檢知。 晶圓數片(Mapping)功能，可有效偵測,有片,無片,錯片及疊片(晶圓無翹曲)。

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