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光洋林博股份有限公司 - SEMI

備有最大16個30mm FOUP的儲存槽，是一台實現短處理時間的旗艦款直立爐。每次最大可處理量為100片晶圓。同時，亦能對應搬送Si-IGBT的各種翹取晶圓。

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