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應用於3D-NAND Flash的全新電晶體：FanFET - 電子工程專輯

圖3：Benchmark of 3D NAND Flash Memory Cells. 前段製程的薄膜堆疊需考慮沉積薄膜厚度的組合、薄膜均勻度和堆疊的層數；隨後的晶胞製程則考慮晶胞 ...

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