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新電子 09月號/2020 第414期 - 第 36 頁 - Google 圖書結果

對於5nm/3nm設計節點,先進邏輯晶片可以利用FinFET或GAA架構(奈米晶片或奈米線),並利用EUV光刻(EUVL)。 ... 此外,生產新的先進節點的晶片需要超過1,000個製程步驟。

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