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半導體製程flow - 第二十三章半導體製造概國立臺灣大學

目前最先進的5 奈米製程，即是採用FinFET 架構來製作。 ... 36 積體電路廠商需要晶圓上經過數百道製程步驟，利用黃光、薄膜、蝕刻、清洗、擴散等晶圓製程才能完成整 ...

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