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繼FinFET之後？GAA矽奈米線CMOS電晶體來了！ - 電子技術設計

在這個製程步驟中，p型工作功能金屬(p-type work function metal ，PWFM)被沉積在所有元件的閘極溝道中，隨後有選擇地將PWFM蝕刻到n-FET的HfO2中， ...

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