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揭示3D FinFET电子设备中的结构和成分信息。,Scientific Reports

在现代设备中已经存在非平面鳍式场效应晶体管（FinFET）。从成熟的2D平面技术到3D纳米结构设计的演进增加了新的制造工艺，但仍然缺乏以代表性（高 ...

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