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finfet結構
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成型與去除材料 - Applied Materials
去除目標原子而不去除或損壞目標薄膜的其餘部分、以及相鄰的薄膜與結構, ... 選擇性去除技術為塑造複雜的垂直結構提供了全新自由度,如FinFET、3D NAND 記憶體陣列和 ...
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