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矽鍺超晶格通道對絕緣層覆矽鰭式場效電晶體電特性之影響研究

第二部分，與前一章節差別於本章節先製作出SOI基板及鰭式電晶體的結構，再 ... 實驗結果可以發現，經過超晶格磊晶之後的FinFET較純矽或單層SiGe FinFET結構有更好的電 ...

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