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FinFET工作原理、结构和应用特性介绍 - 阿里云开发者社区

FinFET 的名称是基于晶体管和鳍片形状的相似性。 ... 由于制造工艺的不同，体硅衬底与SOI衬底相比具有缺陷密度低、成本低等优点。

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