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IC器件失效分析切片技術，您瞭解多少？切片原理介紹及技術總結

(1)機械研磨：最基礎及廣泛的手法，這個方式的優點是又快又寬。 (2)CP (Cross-section Polisher)：以非 ... 精准缺陷及制程工藝切片-鰭式電晶體(FINFET)的橫截面觀察.

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