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越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術

例如在鰭狀電晶體(FinFET) 外側鍍製厚度均勻的介電層(dielectric) (圖三)。此外、在能源開發領域ALD 可以製作極薄的保護層，提升鋰電池的使用壽命，或者改變介面性質 ...

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