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FinFET 器件结构发展综述 - 电子技术应用

三维鳍式场效应晶体管(Fin Field5Effect Transistor,FinFET). 器件[3] 。 FinFET 是加州大学伯克利分校的胡正明 ... 体硅FinFET 优点[7]&鳍形沟道直接与硅衬底接触"故.

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