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鰭式電晶體矽鰭載子電荷分佈探討及可靠度研究 - 逢甲大學

比較鰭寬10nm 及25nm 下double gate n-type FinFET 的電性 ... 關鍵字: 鰭式場效電晶體(FinFET)、次臨界擺幅(SS)、汲 ... 好的特性，花費較低等優點[2]。

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