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鰭式場效應晶體管_百度百科

一種是SOI FinFET，一種是體FinFET。體FinFET形成在體硅襯底上。由於製作的工藝不同，相比於SOI襯底，體硅襯底具有低缺陷密度，低成本的優點。此外，由於SOI襯底中埋氧 ...

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