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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

沉積Film 為SiO2,反應材料有SiH4 及TEOS(Tetra Ethyl-Ortho-Silicate) 〔2〕. SiH4 Base 反應式. SiH4(g)+2N2O(g)→RF SiO2(s)+2H2(g)+2N2(g). TEOS Base 反應式.

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