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其中被用來製作抗反射塗佈及DUV薄膜的氟聚合物 ...

Pellicle上的薄膜(film)提供阻隔外界污染的實體屏障，意即防止微塵或揮發氣體污染 ... 薄膜也可以塗上抗反射材質來提供適當的抗反射特性，抗反射塗佈的製程也可以使用 ...

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