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[FIB-MS]集束イオンビーム質量分析法

FIB -MSは、SEM装置に搭載されたFIB(集束イオンビーム)とTOF型質量分析器を用いて、 微小箇所の形状観察と元素イメージングを同時に行うことのできる手法です。

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