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類神經網路於預測半導體機台異常值之應用

... FDC (Fault Detection and Classification)。 FDC能夠及時探測到機台參數偏差，當參數偏離原值、並超出設定的區間範圍時發出警報。如果能夠結合FDC開發出一套預警機制 ...

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