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絕緣層上覆鍺結構之奈米技術：薄膜生長、製程與材料分析

摘要近年來利用鍺（Germanium）做為半導體製程中所使用的材料已成為一新趨勢，與半導體 ... Germanium on insulator fabricated by fully-encapsulated rapid thermal ...

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