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編號查詢： 計畫年度 - 政府研究資訊系統GRB

近年來，日本產業技術總合研究所(AIST) 致力發展「Minimal Fab」技術和設備研發，整合日本國內優秀半導體設備開發商，除了在生產過程中無須光罩和無塵室，建廠成本低(2 ...

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