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EUV機台耗電量增10倍台積電大數據提升5%效率| 產經

半導體技術日新月異，台積電指出，極紫外光（EUV）技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影（DUV）機台 ...

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