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什么是EUV光刻机？ - 半导体百科

极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的 ... 的深紫外（DUV）激光，现在DUV光刻机是目前大量应用的光刻机，波长 ...

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