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晶片業耗能高！傳台積電將關閉部分EUV機台 - ESG遠見

台積電曾指出，EUV技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但每台機器耗電量約為1百萬瓦特，是傳統深紫外光微影（DUV）機台的10倍以上。

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