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新一代製程的關鍵：13.5奈米的「極端」紫外光

EUV 光有兩種常見的產生方式：同步輻射和高能電漿。前者的設備體積太大且太昂貴，所以後者被採用。高強度的雷射(通常是CO2雷射) ...

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