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林本堅：把半導體元件縮到光波長的四十分之一| 半導體行業觀察

對於採用不同裝置製造相同製程IC的製造廠來說，其技術水平差異就會很突出，例如，有的廠商用EUV裝置（光刻波長為13.5nm）才能做7nm晶片，而有的廠商用DUV ...

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