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中芯國際採購DUV光刻機，對比11億一臺的EUV光 ... - 互動頭條

其次是光路系統的區別。 DUV光刻機的光路，主要利用光的折射原理，而且透鏡和晶圓之間可以採用不同的介質，來改變光刻效能 ...

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