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VUV、EUV 及BEUV 光源照射之釋氣定性與定量研究(2) 含苯環 ...

(1) 光阻經DUV、VUV、EUV 及BEUV 光源照射之釋氣定性與定量研究(2) 含苯環有機化合物在8-150 eV 的電子游離與光游離之離子產物絕對分支比.

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