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euv duv差異
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ASML:ASML (全稱 - 中文百科知識
ASML正在加緊研製基於極紫外(EUV)光源的新型光刻機,型號定為NXE系列。 ... 準分子雷射源提供商,發明了如今半導體製造中最關鍵的光刻技術所需的深紫外(DUV)光源。
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