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包含euv反射鏡配置之光學系統以及操作 ... - Google Patents

在使用深紫外光(deep ultraviolet，DUV)或非常深紫外光(very deep ... 下方第二層群組132反射的分波及上方第一層群組131反射的分波之間的光學角長差異(optical angular ...

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