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半導體製程技術 - 聯合大學

KrF (DUV). 248. 0.25 ~ 0.15. ArF. 193. 0.18 ~ 0.13 ... 極紫外線(EUV) 微影技術. ▫. X-光微影技術. ▫. 電子束(E-beam)微影技術. 1.5. 1.0. 0.8. 0.5. 0.35. 0.25.

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