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euv duv差異
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中芯國際為什麼非要買7nm的EUV光刻機呢
第三,講解EUV和DUV區別之前,需要解釋一下多重曝光技術,這個技術比較複雜,簡單理解上一次曝光留下的介質層(SiO2\Si3N4),是下一次曝光的遮擋層的一部分。
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