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光刻機duv與euv的區別？ - 劇多

首先，二者發光原理不同。 DUV光刻機光源為準分子鐳射，而EUV光刻機則是鐳射激發等離子來發射EUV光子。透過不同方式，二者發出的光源也不同。

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