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極紫外光(euv) - JKE

EUV 稱為「極紫外光」，但物理特性與一般常見的紫外光差異極大。 ... 但其實還有一票工程問題待改善，最主要的原因是雖然DUV和EUV都是雷射光，但發光的機制很不一樣。

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