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這場EUV光刻機爭奪戰，已經悄然打響 - sa123

ASML同時宣佈實現第100套極紫外光刻（EUV）系統的出貨，至2020年年底已有2600萬片晶圓 ... 佳能和尼康僅能在“深紫外線”（DUV）光刻系統上與之競爭。

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