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193nm波長光刻機如何刻出28nm線寬晶片？ - 電子技術設計

Immersion Lithography，不多說了，EUV之前妥妥的必備技術(然而到了EUV肯定用不了)。然後就是Off-Axis Illumination，讓光學系統的主光軸和照明方向不 ...

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