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中國晶片最大痛點：光刻機為啥這麼難？ - 小熊問答

我們知道光刻機實際上分為多種光源，其中包含了我們熟知的EUV（極紫外光源），紫外光源（UV），深紫外光源（DUV）等等。一般來說，波長越來越小，解析 ...

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