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半導體解密：ASML光刻機憑什麼能一廠獨大？台積電總能買到 ...

（ASML EUV 光刻機TWINSCAN NXE3400B，來源：ASML 官網） ... 從其關鍵參數和介紹來看，其光源波長為193nm，水準大致相當於ASML DUV 光刻機的水準。

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