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關於高階光刻機的幾個重點 - 小龜問答

華為晶片被封讓人難受，以下翻譯了一些ASML的EUV光刻機核心部件極紫外光源的 ... 由於DUV採用了浸潤方式，鐳射功率其實也不能夠太高，否則水會升溫， ...

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