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極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術 ...

在台積電法說會上，EUV是近年不斷提到的微影製程名稱，也是現今能在晶片 ... ASML的EUV極紫外光機台專門曝光最複雜、精細的線路圖案，而DUV深紫外光微 ...

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