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中芯國際採購DUV光刻機, 對比11億一臺的EUV光刻機, 區別在 ...

DUV 光刻機又名深紫外線光刻機，而EUV光刻機指的是極深紫外線光刻機。從名稱上來看就能了解到，兩者之間的光源差異。 DUV光刻機的光源波長為193nm， ...

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