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euv duv差異
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極紫外光刻的發展現狀 - DigiTimes
看來EUV要進入先進製程的主流了,但其實還有一票工程問題待改善,最主要的原因是雖然DUV和EUV都是雷射光,但發光的機制很不一樣。 DUV一類的雷射叫凖分子 ...
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