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同樣能造出7nm晶片，EUV光刻機對比DUV光刻機 - 日間新聞

其次，二者的光路系統有著明顯的差異。 DUV光路主要利用光的折射原理。其中，浸沒式光刻機會在投影透鏡與晶圓之間，填入 ...

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