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觀點投書：中國向光刻機急起直追 - 風傳媒

... 台積電、三星、飛利浦等都是ASML的股東，一般認為若無EUV的裝備，要挑戰7或更小nm的先進製程幾乎不可能，然而中科院光電所研發的光刻機使用波長更 ...

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