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[問卦] 有沒有EUV 極紫外光微影製程的八卦？ - Gossiping

透過高能量、波長短的光源，將光罩上的電路圖案轉印到晶圓的光阻劑塗層。 EUV 光源波長比目前DUV（深紫外線微影）的光源波長短，約為15 分之1， 因此能使用於線距更小 ...

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