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EUV黃光微影技術介紹 - 銘乾的分享空間

EUV -波長13.5nm的極紫外線光. 由曝光源發出的光，只有經過光罩上線路為透明區域的部分可以繼續通過透鏡，而將設計好的電路圖形呈像在晶圓表面上，讓它 ...

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