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極紫外線光學元件 - Edmund Optics

由於高吸收率可以消除折射可能性，EUV 系統通常使用反射式光學元件 ... 極紫外線(EUV) 輻射涵蓋的波長頻帶約在10nm 至100nm 之間，也就是在X 光和深紫外線(DUV) 光譜 ...

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