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三星、台積電還搶著要！ASML第二代EUV光刻機何時出？ | T客邦

ASML的EUV光刻機目前使用的還是第一代，EUV光源波長在13.5nm左右，物鏡的NA數值孔徑是0.33，發展了一系列型號。 其中最早量產出廠的是NXE：3400B，產能 ...

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