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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

光學微影的曝光光源有汞燈、KrF、ArF（曝光波長為193nm）、F2（曝光波長為157nm）及EUV（曝光波長為13.4nm）等光學微影技術，其分別應用在90nm、65nm及50nm以下。

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