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摩爾定律的華麗謝幕：EUV微影機 - DigiTimes

微影機的光源坐落於紫外光，波長介於10~400奈米之間。從早期的光源來自於汞燈的g-line及i-line，一旦製程線寬小於100奈米，所使用的光源 ...

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